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      干式真空泵的五種形式

      點擊次數:   更新時間:21/01/26 10:19:01     來源:www.iskydown.com關閉分    享:
        干式真空泵的應用范圍廣泛,其中和它的五種形式有一定的關系,但是很多用戶對這五種形式并不了解,所以為方便用戶的選擇和使用,接下來就這五種形式進行介紹。
        一、雙圓裂片式
        雙圓裂片式的多級設計使得氣體通路相當復雜,并且每一及都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時,為了達到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然,這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
        二、三葉圓裂片式
        三葉圓裂片式設計和上述形式設計的原理相同,只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。為了進一步降低耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,但這也會導致扭矩減小,重新啟動的能力—下降。
        三、組合式(羅茨+爪)
        組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計相同。也有些廠家將其一及改為星型設計,這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。
        四、外部壓縮型螺桿式
        在外部壓縮型螺桿式設計中,使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減小,同時使得氣體通路簡單。這樣,氣體在泵體內停留的時間也短。這種設計但在復雜的半導體工藝中表現出的穩定性非常強。
        五、內部壓縮型螺桿式
        螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。在很多工藝中,這種內部壓縮同多級泵一樣,容易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。
        以上就是有關干式真空泵五種形式的介紹,根據其介紹我們可更好的了解設備的使用及相關的性能,也可更加方便使我們進行設備型號的選擇。

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